6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
負(fù)載重量 ≤15Kg
轉(zhuǎn)角范圍 0-360°
定位精度 ±2″
重復(fù)精度 ±2″
內(nèi)框速率 0.0001°~1000°/s
中框速率 0.0001°~800°/s
外框速率 0.0001°~400°/s
內(nèi)框加速度 500°/s2
中框加速度 300°/s2
外框加速度 200°/s2
測(cè)試能力：
慣導(dǎo)速率測(cè)試
位置測(cè)試等
三軸轉(zhuǎn)臺(tái)
負(fù)載重量 ≤15Kg
轉(zhuǎn)角范圍 0-360°
定位精度 ±2″
重復(fù)精度 ±2″
內(nèi)框速率 0.0001°~1000°/s
中框速率 0.0001°~800°/s
外框速率 0.0001°~400°/s
內(nèi)框加速度 500°/s2
中框加速度 300°/s2
外框加速度 200°/s2
測(cè)試能力：
慣導(dǎo)速率測(cè)試
位置測(cè)試等
三軸轉(zhuǎn)臺(tái)
