能夠?qū)ξ矬w表面的微觀結(jié)構(gòu)和形狀進(jìn)行三維成像和測(cè)量。
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輪廓儀

工藝能力

技術(shù)指標(biāo):
  • 非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；
  • 測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量；
  • 對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
  • 高品質(zhì)的分體式變焦鏡頭能夠?qū)崿F(xiàn)卓越的圖像放大效果。
設(shè)備能力：
能夠?qū)ξ矬w表面的微觀結(jié)構(gòu)和形狀進(jìn)行三維成像和測(cè)量。
 

輪廓儀

工藝能力

技術(shù)指標(biāo):
  • 非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；
  • 測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量；
  • 對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
  • 高品質(zhì)的分體式變焦鏡頭能夠?qū)崿F(xiàn)卓越的圖像放大效果。
設(shè)備能力：
能夠?qū)ξ矬w表面的微觀結(jié)構(gòu)和形狀進(jìn)行三維成像和測(cè)量。
 

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